今天我們要跟大家聊聊無塵室！
在談無塵室本體之前， 我們需要先來認識幾個空調設備的縮寫 分別是：#FFU / #DCC / #MAU
●風機過濾機組(Fan Filter Unit, FFU)，是一種結合送風機與高效濾網氣流循環與過濾之無塵室潔淨設備，用來過濾來自作業場所空氣中所存在有害空氣中的粉塵顆粒，提供所需之氣流循環與潔淨空氣。
●乾盤管(Dry Cooling Coil, DCC)，控制室內溫度並為無塵室除濕，用於供給室內迴風提供冷量的設備。
●外氣空調箱(Make-up Air Unit, MAU)，負責控制露點、製造無塵空氣，並確保無塵室保持正壓。
一般而言，製造潔淨空氣之氣源為外氣（OUTSIDE AIR），需要再經過無塵室系統各種處理單元裝置之處理後進而得到符合規格之潔淨空氣。
簡單介紹其處理流程：當MAU穩定供應設定露點之補氣時，室內之相對濕度可隨溫度達到設定值。外氣由MAU負責預濾、初濾、加濕、除濕、冷卻及再熱處理。初步過濾微塵並控制其溫溼度後，經由回風管道間，將無塵室之循環風量與外氣空調箱之補充風量混合，經由DCC將回風管道間之回風降溫至無塵室要求之規格，透過FFU帶動無塵室的氣流循環帶走微塵及熱量，最後經過超高效能過濾網過濾後，供應回無塵室內的Fab區。
之前做過一案是無塵室內做了很多隔間，每個隔間除了要維持正壓之外壓力又不可一樣。我們將無塵室分區設定正壓，各區依據室內正壓度自動調整該區空調箱之補氣風門，達成統一供風、分區控制潔淨室正壓之目的。我們隆忠企業於該領域已深耕多年，對無塵室相關工程有著專業並且多年的相關經驗，有任何需求歡迎來訊/來電☎✨
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